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COG/FOG 贴附机
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概 要: 利用 Chip Align Mark 帖附在 Panel 上的装备
特 征: Bonding ACCURACY : +5um Panel size 25” 以下 使用Vision System 的 Auto align system
一般 规格: Drive motor : Servo motor & Stepping motor View Area 3.3mm x 3.1 llluminator LED , Halogen llluminator View Area : 1.2mm(H) x 0.9mm(v) Inspection Time : 100ms~200ms Camera : CCD Camera Pixel Resolution : 2.5um(x,y) OPERATION Touch Panel |
